近日,由中国电子工程设计院股份有限公司国家电子工程建筑及环境性能质量检验检测中心主编的中国工程建设标准化协会标准《电子工业化学品系统验收标准(送审稿)》(以下简称《标准》)审查会在北京召开。
近年来,随着国内半导体集成电路、平板显示等行业的快速发展,高纯化学品系统作为整个电子工程建设的重要组成部分,建设需求日益增加、技术要求不断提升。而目前国内涉及化学品系统质量和验收细则的标准缺失,现行GB 50781、等标准多是从设计、建造的角度,对电子工业气体系统进行技术规定,从质量控制角度目前的做法基本是引用SEMI、ASTM等国外标准,一方面缺少技术一致性,另一方面制约了国内相关产业的发展。
本标准从立项开始,就得到了CECS 电子工程分会的大力支持和行业的高度关注,组建了涵盖业主单位、设计院、施工单位、材料和设备供应商、检测和技术服务机构等20多家参编单位的编制组。中国工程建设标准化协会电子工程分会、审查专家和编制组成员代表近20人参加了会议。会议由中国工程建设标准化协会电子工程分会正高级工程师单云凤主持。
中国电子工程设计院股份有限公司资深院长顾问王立代表主编单位致辞,对协会、审查专家及编制组成员在《标准》编制过程中的大力支持和辛勤付出表示感谢。中国电子工程设计院股份有限公司国家电子工程建筑及环境性能质量检验检测中心洁净所所长郭凯代表主编单位介绍了《标准》的编制背景、编制历程、研究内容、主要创新点以及征求意见处理等情况。
《标准》编制符合工程建设标准编写规定,送审资料齐全,符合审查要求。《标准》对电子工业化学品系统的进场验收、施工验收、测试验收、监控和管理系统验收等方面进行了规定,为化学品系统验收工作的技术要求一致性提供了支撑。《标准》内容科学合理、可操作性强,与现行相关标准相协调,具有较强的创新性、可实施性和针对性,达到了国际水平。专家组一致同意《标准》通过审查,审查会圆满召开。
